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[化工资料激光化学气相沉积技术在掩模版修复中的应用

说明: 激光化学气相沉积技术在掩模版修复中的应用黄 河1, 朱 晓1*, 朱长虹1, 朱广志1, 李跃松2, 张 沛2, 万承华2( 1. 华中科技大学激光工程研究院, 武汉430074; 2. 清溢精密光电有限公司, 深圳518000)摘要: 为了对光掩模版亮场缺陷进行修补, 采用激光化学气相沉积的方法, 利用功率密度为1. 3  108W / cm2 的355nm 紫外激光诱导C r( CO) 6 分解, 在1. 5s内获得了光掩模亮场区域附着力强、消光比高的金属Cr膜。结果表明, 在开放
<wanzh*****> 在 2019-02-14 上传 | 大小: | 下载0次

[化工资料化学品船用放射性储存罐辐射安全性检测

说明: 化学品船用放射性储存罐辐射安全性检测张 伟 1,王东涛1,仲晨华2,朱小俊2(1.海军驻沪东中华造船(集团)有限公司军事代表室,上海 200129;2.海军工程大学船舶与海洋工程系,武汉 430033)摘 要:化学品船的储存罐罐壁要达到辐射屏蔽的指标,常规检测方法是用固体点源作测量源,检测罐表面的辐射强度.但这种方法难于检查船上不同位置的放射强度,文章通过理论计算得出相当的屏蔽效果要求,并采用与试验结果相结合的方法全面检查了储存罐壁的屏蔽指标,满足了实际检测的需要,避免了二次污染问题.关键词:
<ych****> 在 2019-02-14 上传 | 大小: | 下载0次

[化工资料低温等离子体物理化学基础及其应用

说明: 低温等离子体物理化学基础及其应用
<fz***> 在 2019-02-13 上传 | 大小: | 下载0次

[化工资料等离子增强型化学气相沉积条件对氮化硅薄膜性能的影响

说明: 等离子增强型化学气相沉积条件对氮化硅薄膜性能的影响
<5528****> 在 2019-02-13 上传 | 大小: | 下载0次

[化工资料等离子体技术在催化剂制备中的应用

说明: 等离子体技术在催化剂制备中的应用代 斌1, 2 宫为民1 张秀玲1 何 仁1( 1. 大连理工大学等离子体化学实验室, 大连116012; 2. 石河子大学, 石河子832002)摘要: 等离子体作为一种新技术, 在诸多领域有着广阔的应用。综述了等离子体技术在催化剂制备方面的应用, 介绍了等离子体技术制备催化剂的方法、装置以及利用等离子体技术制备和再生回收金属、金属氧化物催化剂的研究进展, 分析展示了等离子体技术在催化剂制备方面的应用前景。关键词: 等离子体技术; 催化剂; 制备; 应用
<apple*****> 在 2019-02-13 上传 | 大小: | 下载0次

[化工资料等离子体化学基础

说明: 等离子体化学基础
<bvj****> 在 2019-02-13 上传 | 大小: | 下载0次

[化工资料等离子体化学化工中的一些基本问题

说明: 等离子体化学化工中的一些基本问题
<qqe***> 在 2019-02-13 上传 | 大小: | 下载0次

[化工资料催化原理PPT课件-中科院研究生

说明: 催化原理-中科院研究生课件
<ldm****> 在 2019-02-13 上传 | 大小: | 下载0次

[化工资料催化原理及其工业应用技术

说明: 催化原理及其工业应用技术
<雨***> 在 2019-02-13 上传 | 大小: | 下载0次

[化工资料不对称催化反应原理及在有机合成中的应用

说明: 不对称催化反应原理及在有机合成中的应用
<zhang0******> 在 2019-02-13 上传 | 大小: | 下载0次

[化工资料丙烷脱氢催化反应机理及动力学研究进展

说明: 丙烷脱氢催化反应机理及动力学研究进展
<tmst*****> 在 2019-02-13 上传 | 大小: | 下载0次

[化工资料表面等离子体激元共振光化学传感器的研究

说明: 表面等离子体激元共振光化学传感器的研究
<陶**> 在 2019-02-13 上传 | 大小: | 下载0次
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