[机械资料] 等离子体刻蚀过程的APC技术研究进展

说明： 等离子体刻蚀过程的APC技术研究进展王巍 一．(1．重庆邮电学院光电工程系，叶甜春 ，刘明重庆400065；2．中国科学， 陈大鹏院微电子研究所， 北京100029)摘要：先进过程控$1J(APC)是一个多层次的控制系统，其包含了实时的设备及工艺控制和非实时的RtR控制。APC引入等离子体刻蚀过程控制可极大提高刻蚀机的使用效率。针对等离子体刻蚀过程，本文分别从实时控制和RtR控制两个不同层次展开了论述，概述了RtR控制器中所使用的线性回归模型和神经网络模型。最后，讨论了APC 技术的发展趋势。
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[机械资料] 机械结构工程师设计准则

说明： 机械结构设计准则
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[机械资料] 联轴器精确找正的计算与调整

说明： 联轴器精确找正的计算与调整刘迎阳1 ,郑冬强2(11 漯河天安实业有限公司,河南漯河462000 ;21 漯河职业技术学院,河南漯河462002)　
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[机械资料] 基于混沌搜索的渐开线少齿差行星传动的模糊可靠性优化设计

说明： 基于混沌搜索的渐开线少齿差行星传动的模糊可靠性优化设计
<malia******> 在 2019-02-27 上传 | 大小： | 下载0次

[机械资料] 基于matlab的2K-H型行星齿轮减速器的优化设计

说明： 基于matlab的2K-H型行星齿轮减速器的优化设计
<lxp****> 在 2019-02-27 上传 | 大小： | 下载0次

[机械资料] 基于LIGA技术的微行星齿轮减速器的设计和制造

说明： 基于LIGA技术的微行星齿轮减速器的设计和制造
<ZHOUH******> 在 2019-02-27 上传 | 大小： | 下载0次

[机械资料] 基于flash软件的渐开线少齿差行星齿轮传动的参数化设计

说明： 基于flash软件的渐开线少齿差行星齿轮传动的参数化设计
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[机械资料] 基于非线性动力学的行星传动均载性能研究

说明： 基于非线性动力学的行星传动均载性能研究
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[机械资料] 2K-H型悬浮均载行星齿轮减速器

说明： 2K_H型悬浮均载行星齿轮减速器
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[机械资料] 小模数多齿数行星齿轮传动及其在采煤机械中的应用

说明： 小模数_多齿数行星齿轮传动及其在采煤机械中的应用
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[机械资料] 我国煤矿机械行星齿轮传动的技术水平

说明： 我国煤矿机械行星齿轮传动的技术水平
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[机械资料] 微型行星齿轮传动的设计研究

说明： 微型行星齿轮传动的设计研究
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